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非接触式光学测量方法得到迅速发展
30年技术服务经验,专业解决100000客户计量校准方案 | [在线咨询]2018-01-24 16:43
对轮廓仪的零点会在某一极小的范围内波动这一点,普通的轮廓测量中都会忽略这一误差,但随着测量精度的提高,这一误差是不可忽略的。在某些高精度的测量仪中,采用每次测量前重新校正零点的方法来提高测量精度,但这一方法显然会增加测量过程的复杂性。
   

重庆仪器校验为解决上述问题,本文对接触式非球面轮廓测量仪进行了较为全面的误差分析,以确定上述因素会造成什么样的测量误差;在此基础上,在X轴和Y轴方向采用极坐标形式,避免了单独测量X轴和Y轴的时安装的垂直度影响的误差。  1.2 轮廓测量装置在国内外的发展研究现状  它是以 1968 年美国J.B.P.Williamson 首次推出三维表面触针式轮廓仪[1][2]。


近二十年来,随着微电子技术、计算机技术、光学技术、传感器技术、信号分析和处理技术的飞速发展,基于各种原理的测量仪器纷纷面世,其测量范围小至亚纳米,大到毫米级,这主要表现在以下几个方面[3]:(1)传统的触针式仪器朝着高分辨率、大量程方向发展;


(2)非接触式光学测量方法得到迅速发展,光学探针仪器、相移式扫描干涉显微镜、光外差干涉测量仪等相继出现;(3)扫描隧道显微镜、原子力显微镜的出现和发展使表面检测突破了传统的局限,实现了原子级尺度的检测。根据测量原理的不同,表面测量技术基本上可以划分为以下三类:接触式测量方法,光学测量方法和非光学式扫描显微镜测量方法。 
 
 
 
 
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